Mikrochip-Lithographie mit extremem Ultraviolett
EUV-Technologie für Wafer-Belichtung soll 2015 in den Markt kommen Die Strukturen von Schaltkreisen auf Mikrochips entstehen durch ein lithografisches Verfahren. Immer mehr Schaltkreise auf gleichem...
View ArticlePulse im Femtosekundentakt
Ultrakurzpulslaser erreichen erstmals tausend Watt Leistung Je kürzer die Pulsdauer, desto präziser arbeitet ein Laser als Werkzeug im medizinischen Einsatz oder in der Materialbearbeitung. Mit...
View Article
